Experimental demonstration of single electron transistors featuring SiO2plasma-enhanced atomic layer deposition in Ni-SiO2-Ni tunnel junctions

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标题	Experimental demonstration of single electron transistors featuring SiO2plasma-enhanced atomic layer deposition in Ni-SiO2-Ni tunnel junctions 相关领域原子层沉积量子隧道材料科学非阻塞I/O 电极图层（电子）镍电介质等离子体沉积（地质）金属隧道效应晶体管光电子学纳米技术冶金化学电气工程古生物学沉积物电压催化作用物理化学工程类物理生物化学生物量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/1.4935960
DOI	10.1116/1.4935960 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Golnaz Karbasian; Michael V. McConnell; Alexei O. Orlov; Sergei Rouvimov; Gregory L. Snider 出版日期：2016-01-01
求助人	陈陈在 2023-03-10 10:48:23 发布，悬赏 10 积分
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