Deposition and thermal conductivity of diamond-like carbon film on a silicon substrate

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标题	Deposition and thermal conductivity of diamond-like carbon film on a silicon substrate 相关领域材料科学硅类金刚石碳碳纤维基质（水族馆）无定形碳沉积（地质）碳膜热导率钻石复合材料薄膜纳米技术无定形固体光电子学结晶学化学沉积物古生物学地质学海洋学复合数生物
网址	https://doi.org/10.7498/aps.65.096501
DOI	10.7498/aps.65.096501 doi
其它	期刊：Chinese Physics 作者：Ai Li-Qiang; Zhang Xiang-Xiong; Chen Min; Xiong Daxi 出版日期：2016-05-05
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