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  Inductive Heating Based on VHF-ISM Radio Band Frequencies as Technology Platform for Efficient Heating of Metallic Micro-Scaled Bonding Layers in MEMS Packaging 基于VHF-ISM射频的感应加热作为MEMS封装中金属微尺度键合层高效加热的技术平台
相关领域
电磁线圈
计算机科学
电气工程
物理
工程类
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Magnetics 作者：Christian Hofmann; Martin Kroll; Sushant Panhale; Maik Wiemer; Andreas Kunke; et al 出版日期：2023-06-14 |
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