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标题
Fabrication challenges for indium phosphide microsystems
磷化铟微系统的制造挑战
相关领域
磷化铟 制作 微系统 磷化物 材料科学 铟 纳米技术 光电子学 工程物理 工程类 冶金 砷化镓 金属 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/25/4/043001
DOI
10.1088/0960-1317/25/4/043001 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Nathan Siwak; Xiao Zhu Fan; Reza Ghodssi
出版日期：2015-03-17
求助人
柏不斜 在 2025-03-05 10:36:09 发布自陕西，悬赏 10 积分
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