Miniaturized silicon-based capacitive six-axis force/torque sensor with large range, high sensitivity, and low crosstalk

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标题	Miniaturized silicon-based capacitive six-axis force/torque sensor with large range, high sensitivity, and low crosstalk 大量程、高灵敏度、低串扰的小型化硅基电容式六轴力/力矩传感器相关领域电容感应扭矩解耦（概率）电容器炸薯条材料科学去耦电容器多物理硅串扰光电子学声学有限元法电子工程电气工程物理电压工程类结构工程控制工程热力学
网址	https://doi.org/10.1038/s41378-024-00831-0
DOI	10.1038/s41378-024-00831-0 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Renjie Tan; Yong Xia; Xiangguang Han; Linya Huang; Wendi Gao; et al 出版日期：2024-11-29
求助人	robin 在 2025-03-06 21:09:05 发布自陕西，悬赏 10 积分
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