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![]() 不同氢和sp3-杂化碳含量的氢化DLC薄膜的等离子体化学沉积
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期刊:Semiconductors 作者:А. И. Охапкин; М. Н. Дроздов; P. A. Yunin; S. A. Kraev; D.B. Radishev 出版日期:2024-01-01 |
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