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标题
Numerical simulation of stress-dependent oxide growth at convex and concave corners of trench structures
沟槽结构凸凹角应力相关氧化物生长的数值模拟
相关领域
氧化物 稀释 压力（语言学） 沟槽 材料科学 计算机模拟 透射电子显微镜 正多边形 扩散 复合材料 几何学 化学 机械 数学 纳米技术 物理 冶金 热力学 图层（电子） 哲学 生物 语言学 生态学
网址
https://doi.org/10.1109/55.29669
DOI
10.1109/55.29669 doi
其它 期刊：IEEE Electron Device Letters
作者：H. Umimoto; S. Odanaka; I. Nakao
出版日期：1989-07-01
求助人
Luke 在 2025-03-24 16:04:41 发布自湖南，悬赏 10 积分
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