Effects of film type and nanotopography of wafers on oxide CMP characteristics

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标题	Effects of film type and nanotopography of wafers on oxide CMP characteristics 薄膜类型和晶片纳米形貌对氧化物CMP特性的影响相关领域纳米地形材料科学薄脆饼氧化物纳米技术光电子学冶金
网址	https://hanyang.elsevierpure.com/en/publications/effects-of-... AI链接 elsevierpure.com
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：T. Katoh; Byoung-Sun Ko; J. H. Park; Hyun-Sik Yoo; Jea Gun Park; et al 出版日期：2002-01-01
求助人	lgh 在 2025-04-11 11:12:28 发布自陕西，悬赏 10 积分
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