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 Particle size dependence of nanoclustered ceria abrasives on surface activity and chemical mechanical planarization performance 纳米团簇氧化铈磨料粒度对表面活性和化学机械平坦化性能的依赖性
相关领域
化学机械平面化
薄脆饼
材料科学
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氧化铈
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期刊：Applied Surface Science 作者：Na‐Yeon Kim; Uiseok Hwang; Jaeuk Sung; Inkyung Park; Taesung Kim; et al 出版日期：2024-04-01 |
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