Etching Mechanism Based on Hydrogen Fluoride Interactions with Hydrogenated SiN Films Using HF/H2 and CF4/H2 Plasmas

已完结

文献求助详情

标题	Etching Mechanism Based on Hydrogen Fluoride Interactions with Hydrogenated SiN Films Using HF/H2 and CF4/H2 Plasmas HF/H2和CF4/H2等离子体中氟化氢与氢化SiN膜相互作用的刻蚀机理相关领域氟化氢蚀刻（微加工）氢等离子体无水的氟碳化合物分析化学（期刊）化学氟氢氟酸氨材料科学图层（电子）无机化学有机化学量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1021/acsaelm.3c01258
DOI	10.1021/acsaelm.3c01258 doi
其它	期刊：ACS applied electronic materials 作者：Shih‐Nan Hsiao; Nikolay Britun; Thi‐Thuy‐Nga Nguyen; Makoto Sekine; Masaru Hori 出版日期：2023-12-12
求助人	juwairen119 在 2024-09-19 20:17:34 发布自河南，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 顺利的冰旋完成签到，获得积分10

2秒前; 彭于晏的应助被Xiangyang采纳，获得10

3秒前; 粗犷的书蝶发布了新的文献求助10

3秒前; 852的应助被Jiaowen采纳，获得10

4秒前; daiyu完成签到，获得积分20

6秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

7秒前; 科研通AI2S的应助被粗犷的书蝶采纳，获得10

11秒前; 和谐蛋蛋完成签到，获得积分10

13秒前; 科研通AI2S的应助被daiyu采纳，获得10

14秒前; 传奇3的应助被daiyu采纳，获得10

14秒前; 程艳完成签到，获得积分10

16秒前; 英姑上传了应助文件

17秒前; lhx完成签到，获得积分10

17秒前; 852上传了应助文件

18秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

23秒前; 郭n发布了新的文献求助10

24秒前; w。发布了新的文献求助10

24秒前; 枇杷完成签到，获得积分10

27秒前; 浔城游侠完成签到，获得积分10

27秒前; 东方宏的应助被123456789www采纳，获得30

29秒前; 乐乐的应助被Nacy采纳，获得10

29秒前; Ephemeral完成签到，获得积分10

30秒前; 科研通管家关闭了着急的鹏涛的文献求助

30秒前; 着急的鹏涛发布了新的文献求助20

30秒前; 希望天下0贩的0的应助被w。采纳，获得10

31秒前; 共享精神的应助被郭n采纳，获得10

31秒前; krkr完成签到，获得积分10

31秒前; Cupid完成签到，获得积分10

31秒前; 虞头星星完成签到，获得积分10

31秒前; 安戈发布了新的文献求助10

32秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

38秒前; w。完成签到，获得积分10

39秒前; 乐乐上传了应助文件

42秒前; w_sea完成签到，获得积分10

45秒前; Nacy发布了新的文献求助10

46秒前; 慕青的应助被yongon采纳，获得10

47秒前; 安戈完成签到，获得积分10

47秒前; 天真以莲完成签到，获得积分10

47秒前; 李健的应助被娃哈哈采纳，获得10

53秒前; 明亮无颜关闭了明亮无颜的文献求助

57秒前