标题 |
Recent Progress in SiC Monocrystal Growth and Wafer Machining
SiC单晶生长与晶片加工研究进展
相关领域
材料科学
研磨
抛光
钻石
薄脆饼
机械加工
表面粗糙度
计算
抛光(金属)
Crystal(编程语言)
复合材料
表面光洁度
机械工程
光电子学
冶金
光学
计算机科学
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物理
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期刊:Journal of Semiconductors 作者:Jiang Shouzhen; Xinyan Xu; Juan Li; Xiufang Chen; Yingmin Wang; et al 出版日期:2007-04-29 |
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