PECVD SiO2-SiNx叠层钝化膜的研究

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标题	PECVD SiO2-SiNx叠层钝化膜的研究相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学光电子学硅
网址	http://www.cqvip.com/QK/95586X/201012/36587983.html
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：太阳能学报作者：韩培育; 季静佳; 王振交; 李果华出版日期：2010-01-01
求助人	完美的幻波在 2024-09-04 11:15:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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