Structure and Properties of Thin Graphite-Like Films Produced by Magnetron-Assisted Sputtering

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标题	Structure and Properties of Thin Graphite-Like Films Produced by Magnetron-Assisted Sputtering 磁控溅射制备类石墨薄膜的结构与性能相关领域石墨溅射沉积腔磁控管材料科学溅射薄膜光电子学工程物理纳米技术冶金物理
网址	https://doi.org/10.1134/s1063782618070266
DOI	10.1134/s1063782618070266 doi
其它	期刊：Semiconductors 作者：A. Ya. Vinogradov; S. A. Grudinkin; Nadezhda A. Besedina; Sergei V. Koniakhin; Maxim K. Rabchinskii; et al 出版日期：2018-06-07
求助人	sucker 在 2024-08-22 11:38:11 发布自山西，悬赏 10 积分
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