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 Numerical analysis of constitutional supercooling in heavily doped silicon crystals grown using the Czochralski method 直拉法生长重掺杂硅晶体过冷特性的数值分析
相关领域
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Yuji Mukaiyama; Vladimir Artemyev; Koji Sueoka 出版日期：2022-11-01 |
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