| 标题 |
 Defect-Engineered MnO2 as Catalyst for the Chemical Mechanical Polishing of Silicon Carbide Wafer 缺陷工程MnO2催化剂在碳化硅晶片化学机械抛光中的应用
相关领域
催化作用
材料科学
薄脆饼
氧化剂
化学工程
抛光
多孔性
碳化硅
氧气
吸附
化学机械平面化
比表面积
纳米技术
冶金
复合材料
化学
有机化学
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Wanying Guo; Kaiping Xue; Mingxuan Wang; Sipei Zhang; Yu Qiao; et al 出版日期：2023-07-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
劲秉
lin
彭于彦祖
杳鸢
一一
带头大哥
Billy
子车茗
嗯哼
爱静静
双黄
平常的毛豆
萧水白
模糊中正
宜醉宜游宜睡
tuanheqi
独特的紫蓝
个性的紫菜
fifteen
Leonardi
皖公网安备34019202002308
