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标题
Spreading of thin-film metal patterns deposited on nonplanar surfaces using a shadow mask micromachined in Si (110)
利用Si(110)微机械荫罩在非平面表面上沉积的薄膜金属图案的扩展
相关领域
荫罩 材料科学 基质(水族馆) 曲率 光学 沉积(地质) 薄膜 影子(心理学) 铂金 光电子学 几何学 纳米技术 化学 地质学 物理 催化作用 古生物学 海洋学 生物化学 心理治疗师 数学 心理学 沉积物
网址
DOI
10.1116/1.2747629 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Roald M. Tiggelaar; J.W. Berenschot; M. Elwenspoek; Han Gardeniers; R. Dorsman; et al
出版日期:2007-06-25
求助人
坚强可仁 在 2023-10-04 15:33:32 发布自北京,悬赏 10 积分
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