标题 |
Spreading of thin-film metal patterns deposited on nonplanar surfaces using a shadow mask micromachined in Si (110)
利用Si(110)微机械荫罩在非平面表面上沉积的薄膜金属图案的扩展
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Roald M. Tiggelaar; J.W. Berenschot; M. Elwenspoek; Han Gardeniers; R. Dorsman; et al 出版日期:2007-06-25 |
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