标题 |
Volumetric thin film thickness measurement using spectroscopic imaging reflectometer and compensation of reflectance modeling error
光谱成像反射计体积薄膜厚度测量及反射率建模误差补偿
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期刊:International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 作者:Kwangrak Kim; Seongryong Kim; Soonyang Kwon; Heui Jae Pahk 出版日期:2014-09-01 |
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