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 Etching-assisted femtosecond laser modification of hard materials 硬质材料的刻蚀辅助飞秒激光改性
相关领域
飞秒
材料科学
激光器
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
干法蚀刻
表面改性
表面粗糙度
表面光洁度
反应离子刻蚀
光电子学
纳米技术
激光烧蚀
光学
复合材料
化学工程
物理
图层（电子）
工程类
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期刊：Opto-Electronic Advances 作者：Xue-Qing Liu; Benfeng Bai; Qi-Dai Chen; Hong-Bo Sun 出版日期：2019-09-19 |
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