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 Engineering MEMS Resonators With Low Thermoelastic Damping 具有低热弹性阻尼的工程MEMS谐振器
相关领域
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Amy Duwel; Rob N. Candler; Thomas W. Kenny; M. Varghese 出版日期：2006-12-01 |
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