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Atom-by-Atom and Sheet-by-Sheet Chemical Mechanical Polishing of Diamond Assisted by OH Radicals: A Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulation Study
OH自由基辅助金刚石的逐原子和逐片化学机械抛光:紧束缚量子化学分子动力学模拟研究
相关领域
材料科学
Atom(片上系统)
分子动力学
钻石
激进的
化学物理
紧密结合
化学机械平面化
量子化学
抛光
量子
分子物理学
原子物理学
纳米技术
计算化学
分子
复合材料
电子结构
量子力学
物理
化学
有机化学
嵌入式系统
计算机科学
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其它 |
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Kentaro Kawaguchi; Yang Wang; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Yuji Higuchi; et al 出版日期:2021-08-17 |
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