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标题
Atom-by-Atom and Sheet-by-Sheet Chemical Mechanical Polishing of Diamond Assisted by OH Radicals: A Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulation Study
OH自由基辅助金刚石的逐原子和逐片化学机械抛光:紧束缚量子化学分子动力学模拟研究
相关领域
材料科学 Atom(片上系统) 分子动力学 钻石 激进的 化学物理 紧密结合 化学机械平面化 量子化学 抛光 量子 分子物理学 原子物理学 纳米技术 计算化学 分子 复合材料 电子结构 量子力学 物理 化学 有机化学 嵌入式系统 计算机科学
网址
DOI
10.1021/acsami.1c09468 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Kentaro Kawaguchi; Yang Wang; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Yuji Higuchi; et al
出版日期:2021-08-17
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