Performance Enhancement of Self-Aligned Coplanar TFTs With ALD-IGZO Channels via Effective Doping From Interlayer Dielectric

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标题	Performance Enhancement of Self-Aligned Coplanar TFTs With ALD-IGZO Channels via Effective Doping From Interlayer Dielectric 利用层间介质有效掺杂提高ALD-IGZO沟道自对准共面薄膜晶体管的性能相关领域电介质兴奋剂材料科学分析化学（期刊）物理光电子学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1109/led.2023.3274811
DOI	10.1109/led.2023.3274811 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Sung-Won Moon; Young-Ha Kwon; Nak-Jin Seong; Kyu-Jeong Choi; Sung-Min Yoon 出版日期：2023-07-01
求助人	锵崽锵崽在 2024-10-27 22:03:40 发布自福建，悬赏 10 积分
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