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标题
A Review of Eigenmode and Frequency Control in Piezoelectric MEMS Resonators
压电MEMS谐振器的本征模和频率控制研究进展
相关领域
谐振器 正常模式 微电子机械系统 补偿（心理学） 压电 陀螺仪 自动频率控制 电子工程 谐振器耦合系数 频率响应 声学 振动 材料科学 物理 工程类 光电子学 电气工程 航空航天工程 心理学 精神分析
网址
https://ieeexplore.ieee.org/document/10147869
DOI
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AI识别 10.1109/tuffc.2023.3285084 doi
求助人
qt 在 2024-10-02 16:00:03 发布自北京，悬赏 10 积分
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