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标题
Scandium-Doped Aluminum Nitride for Acoustic Wave Resonators, Filters, and Ferroelectric Memory Applications
声波谐振器、滤波器和铁电存储器用掺钪氮化铝
相关领域
材料科学 铁电性 氮化物 谐振器 光电子学 微电子机械系统 压电 兴奋剂 纤锌矿晶体结构 钪 纳米技术 电子工程 工程物理 复合材料 冶金 工程类 图层（电子） 电介质 锌
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c01409
DOI
10.1021/acsaelm.2c01409 doi
其它 期刊：ACS applied electronic materials
作者：Li Chen; Chen Liu; Minghua Li; Wen-Dong Song; Weijie Wang; et al
出版日期：2022-12-12
求助人
king 在 2025-02-08 21:36:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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