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 Study of the Anisotropic Wet Etching of Nanoscale Structures in Alkaline Solutions 碱性溶液中纳米结构的各向异性湿法刻蚀研究
相关领域
材料科学
薄脆饼
蚀刻（微加工）
纳米结构
各向异性
纳米尺度
各向同性腐蚀
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硅
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化学工程
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光学
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期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Antoine Pacco; Zainul Aabdin; Utkarsh Anand; Jens Rip; Utkur Mirsaidov; et al 出版日期：2018-08-01 |
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