Microstructure, mechanical and corrosion performance of magnetron sputtered (Al0.5CoCrFeNi)Nx high-entropy alloy nitride films

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标题	Microstructure, mechanical and corrosion performance of magnetron sputtered (Al0.5CoCrFeNi)Nx high-entropy alloy nitride films 磁控溅射（Al0.5CoCrFeNi）Nx高熵合金氮化物薄膜的组织、力学和腐蚀性能相关领域材料科学微观结构合金溅射沉积氮化物复合材料溅射腐蚀无定形固体表面粗糙度弹性模量冶金薄膜纳米技术结晶学化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.172158
DOI	10.1016/j.jallcom.2023.172158 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Fanyong Zhang; Wei Ma; Ruibin Zhao; Guangxing Yu; Jiawen Chen; et al 出版日期：2023-09-12
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