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Enhanced Endurance and Imprint Properties in Hf0.5Zr0.5O2−δ Ferroelectric Capacitors by Tailoring the Oxygen Vacancy
通过调整氧空位提高Hf0.5Zr 0.5 O2−δ铁电电容器的耐久性和压印性能
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期刊:ACS Applied Electronic Materials 作者:Keyu Bao; Jiajia Liao; Fei Yan; Shijie Jia; Binjian Zeng; et al 出版日期:2023-08-10 |
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