Electric-driven flexible-roller nanoimprint lithography on the stress-sensitive warped wafer

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标题	Electric-driven flexible-roller nanoimprint lithography on the stress-sensitive warped wafer 应力敏感翘曲晶片上的电动柔性辊纳米压印光刻相关领域纳米压印光刻材料科学薄脆饼电场光电子学基质（水族馆）纳米技术抵抗栅栏氮化镓平版印刷术制作病理地质学物理海洋学替代医学医学量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1088/2631-7990/acd827
DOI	10.1088/2631-7990/acd827 doi
其它	期刊：International journal of extreme manufacturing 作者：Yuanyuan Fan; Chunhui Wang; Jiaxing Sun; Xiaogang Peng; Hongmiao Tian; et al 出版日期：2023-06-02
求助人	djjfjf 在 2025-02-19 10:11:40 发布自湖南，悬赏 10 积分
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