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标题
Two-Step Cyclic Etching of Copper Thin Films Using Acetylacetone/O2 Gases
乙酰丙酮/O2气体两步循环刻蚀铜薄膜
相关领域
乙酰丙酮 材料科学 X射线光电子能谱 铜 溅射 蚀刻（微加工） 分析化学（期刊） 薄膜 无机化学 化学工程 纳米技术 冶金 化学 图层（电子） 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ace795
DOI
10.1149/2162-8777/ace795 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Seung‐Hyun Kim; Eun Taek Lim; Sung Yong Park; Chee Won Chung
出版日期：2023-07-01
求助人
许12 在 2024-11-23 19:22:01 发布自上海，悬赏 10 积分
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