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![]() 射频磁控溅射沉积硅碳氧氮化物薄膜的研究
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期刊:Applied Surface Science Advances 作者:Abbas Ali Aghaei; Akbar Eshaghi; Mazaher Ramazani; Hossein Zabolian; Marzieh Abbasi-Firouzjah 出版日期:2024 |
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