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Feedback-Linearized Inverse Feedforward for Creep, Hysteresis, and Vibration Compensation in AFM Piezoactuators
AFM压电致动器蠕变、迟滞和振动补偿的反馈线性化逆前馈
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期刊:IEEE Transactions on Control Systems Technology 作者:Kam K. Leang; Santosh Devasia 出版日期:2007-08-30 |
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