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 The role of diluents in electronegative fluorinated gas discharges 稀释剂在电负性氟化气体放电中的作用
相关领域
稀释剂
化学
等离子体
分析化学（期刊）
氮化硅
硅
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物理
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：J.G. Langan; S. E. Beck; B. Felker; Steven Walton Rynders 出版日期：1996-04-15 |
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