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标题
Experiment and analysis of the effect of BCB sealing ring flatness on BCB cap transfer packaging
BCB密封圈平整度对BCB盖转移包装影响的实验与分析
相关领域
材料科学 薄脆饼 复合材料 晶片键合 涂层 平坦度（宇宙学） 光电子学 宇宙学 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1007/s00542-020-04945-z
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.science hal.science archives-ouvertes.frdoi.org
DOI
10.1007/s00542-020-04945-z doi
其它 期刊：Microsystem Technologies
作者：Seonho Seok
出版日期：2020-07-01
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坚定的琦 在 2024-12-03 21:40:10 发布自中国，悬赏 10 积分
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