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 Extremely Thin Proximity Platinum Silicide Formation Process using Continuous-Wave Laser Scanning Anneal 使用连续波激光扫描热处理的极薄接近铂硅化物形成工艺
相关领域
材料科学
硅化物
光电子学
铂金
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Seung Mo Kim; Min Gyu Kwon; Minjae Kim; Chan Bin Lee; Ki Sung Kim; et al 出版日期：2024-01-01 |
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