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 Highly sensitive 3C-SiC on glass based thermal flow sensor realized using MEMS technology 基于MEMS技术的高灵敏度3C-SiC玻璃基热流传感器
相关领域
材料科学
碳化硅
灵敏度（控制系统）
微电子机械系统
电阻式触摸屏
温度系数
制作
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光电子学
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流量（数学）
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温度测量
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：V.R. Balakrishnan; Toan Dinh; Hoang‐Phuong Phan; Dzung Viet Dao; Nam‐Trung Nguyen 出版日期：2018-06-15 |
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