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10-pm-order mechanical displacement measurements using heterodyne interferometry
利用外差干涉测量法测量10 pm阶机械位移
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期刊:Applied Optics 作者:Thanh Dong Nguyen; Masato Higuchi; Thanh Tung Vu; Dong Wei; Masato Aketagawa 出版日期:2020-08-18 |
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