Effective charge dynamics in Al2O3/SiO2 multilayer stacks and their influence on silicon surface passivation

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标题	Effective charge dynamics in Al2O3/SiO2 multilayer stacks and their influence on silicon surface passivation Al2O3/SiO2多层堆叠中的有效电荷动力学及其对硅表面钝化的影响相关领域钝化材料科学硅原子层沉积场效应图层（电子）电场电压电荷密度分析化学（期刊）光电子学纳米技术电气工程化学物理量子力学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.152175
DOI	10.1016/j.apsusc.2021.152175 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Hemangi Patel; Christian Reichel; Armin Richter; Paul Masuch; Jan Benick; et al 出版日期：2022-03-01
求助人	韦涔在 2024-08-12 17:51:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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