High-efficiency wafer-scale finishing of 4H-SiC (0001) surface using chemical-free electrochemical mechanical method with a solid polymer electrolyte

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标题	High-efficiency wafer-scale finishing of 4H-SiC (0001) surface using chemical-free electrochemical mechanical method with a solid polymer electrolyte 固体聚合物电解质无化学电化学机械法高效晶片级4H-SiC（0001）表面光整相关领域材料科学电解质表面处理化学机械平面化抛光阳极电解薄脆饼电化学阴极化学工程碳化硅表面粗糙度表面光洁度复合材料纳米技术电极化学物理化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2021.108700
DOI	10.1016/j.diamond.2021.108700 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Che Nor Syahirah Binti Che Zulkifle; Kenshin Hayama; Junji Murata 出版日期：2021-12-01
求助人	flamezzz 在 2024-07-05 23:44:20 发布自美国，悬赏 10 积分
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