Effects of different incidence rates of carbon and silicon clusters on the surface properties of SiC films

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标题	Effects of different incidence rates of carbon and silicon clusters on the surface properties of SiC films 不同碳硅团簇入射率对SiC薄膜表面性能的影响相关领域材料科学退火（玻璃）结晶表面粗糙度硅碳化硅薄膜表面光洁度纳米技术化学工程复合材料光电子学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2023.102718
DOI	10.1016/j.surfin.2023.102718 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Tinghong Gao; Tinghong Gao; Yutao Liu; Yue Gao; Jin Huang; et al 出版日期：2023-04-01
求助人	xuwusama 在 2024-07-23 14:42:22 发布自江苏，悬赏 10 积分
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