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 Oligomers of MORE: Molecular Organometallic Resists for EUV 更多的低聚物：用于EUV的分子有机金属抗蚀剂
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期刊： 作者：Shaheen Hasan; Michael Murphy; Maximilian Weires; Steven Grzeskowiak; Greg Denbeaux; et al 出版日期：2019-04-08 |
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