A Wafer-Level Packaged CMOS MEMS Pirani Vacuum Gauge

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标题	A Wafer-Level Packaged CMOS MEMS Pirani Vacuum Gauge 晶圆级封装CMOS MEMS Pirani真空计相关领域托尔 CMOS芯片真空度电气工程物理光电子学工程类量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2021.3103486
DOI	10.1109/ted.2021.3103486 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Wei Xu; Xiaoyi Wang; Xiaofang Pan; Amine Bermak; Yi-Kuen Lee; et al 出版日期：2021-10-01
求助人	Hong 在 2023-11-22 16:00:18 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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