AI-enhanced optical critical dimension metrology for high aspect ratio structures in semiconductor advanced packaging - 科研通

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标题	AI-enhanced optical critical dimension metrology for high aspect ratio structures in semiconductor advanced packaging 半导体先进封装中高深宽比结构的人工智能增强光学临界尺寸计量相关领域计量学临界尺寸维数（图论）半导体材料科学光电子学集成电路封装电子包装纳米技术光学复合材料物理集成电路数学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3012984
DOI	10.1117/12.3012984 doi
其它	期刊：作者：Fusheng Yang; Min-Ru Wu; Yen-Hung Hung; Zih-Ying Fu; Liang-Chia Chen 出版日期：2024-02-23
求助人	fzzzzlucy 在 2025-04-09 09:12:20 发布自欧洲，悬赏 20 积分
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