Piezoelectric Pzt Thin Films: Deposition, Evaluation and Their Applications

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标题	Piezoelectric Pzt Thin Films: Deposition, Evaluation and Their Applications 压电Pzt薄膜的沉积、评价及其应用相关领域压电材料科学薄膜微电子机械系统 PMUT公司压电系数溅射光电子学压电传感器沉积（地质）纳米发生器溅射沉积纳米技术复合材料生物古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1109/transducers.2019.8808525
DOI	10.1109/transducers.2019.8808525 doi
其它	期刊：作者：Isaku Kanno 出版日期：2019-06-01
求助人	zxj 在 2025-03-19 21:17:40 发布自山东，悬赏 10 积分
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