Effect of hydrogen on the chemical state, stoichiometry and density of amorphous Al2O3 films grown by thermal atomic layer deposition

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标题	Effect of hydrogen on the chemical state, stoichiometry and density of amorphous Al2O3 films grown by thermal atomic layer deposition 氢对热原子层沉积法生长非晶Al2O3薄膜化学状态、化学计量和密度的影响相关领域 X射线光电子能谱无定形固体弹性后坐力检测化学计量学氧化物原子层沉积分析化学（期刊）化学状态化学材料科学薄膜结晶学物理化学化学工程纳米技术有机化学色谱法工程类
网址	https://doi.org/10.1002/sia.7282
DOI	10.1002/sia.7282 doi
其它	期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Claudia Cancellieri; Simon Gramatte; O. Politano; Léo Lapeyre; Fedor F. Klimashin; et al 出版日期：2024-01-07
求助人	doudou 在 2024-10-09 14:26:33 发布自陕西，悬赏 10 积分
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