Numerical and experimental investigation of oxygen transport in 300 mm Czochralski silicon crystal growth with transverse magnetic fields

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标题	Numerical and experimental investigation of oxygen transport in 300 mm Czochralski silicon crystal growth with transverse magnetic fields 横向磁场下300 mm直拉硅晶体生长中氧输运的数值和实验研究
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113994 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Wenkai Liu; Songsong Chen; Fuman Jiang; Yun Liu; Zhongying Xue; Xing Wei 出版日期：2025-01-05
求助人	缪南风在 2025-02-17 13:49:27 发布自山东，悬赏 10 积分
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