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 Using the acetylacetonates of zinc and aluminium for the Metalorganic Chemical Vapour Deposition of aluminium doped zinc oxide films 锌和铝的乙酰丙酮酸盐用于铝掺杂氧化锌薄膜的金属有机化学气相沉积
相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Abdelkader Nebatti Ech‐Chergui; Christian Pflitsch; Benjamin Curdts; Burak Atakan 出版日期：2015-06-11 |
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