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标题
Optimum Hydrogen Injection in Phosphorus-Doped Polysilicon Passivating Contacts
掺磷多晶硅钝化触点的最佳氢注入
相关领域
钝化 材料科学 多晶硅 兴奋剂 氮化硅 化学工程 分析化学(期刊) 纳米技术 图层(电子) 光电子学 化学 薄膜晶体管 有机化学 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1021/acsami.1c17342 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Di Kang; Hang Cheong Sio; Josua Stückelberger; Rong Liu; Di Yan; et al
出版日期:2021-11-12
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归尘 在 2025-02-21 14:44:36 发布自安徽,悬赏 10 积分
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