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Effect of abrasive on tribological behavior and polishing effect of β-Ga2O3(100) substrate
磨料对β-Ga2O3（100）基体摩擦学行为及抛光效果的影响
相关领域
磨料 抛光 材料科学 钻石 磨料加工 化学机械平面化 粒径 碳化硅 基质（水族馆） 表面粗糙度 冶金 复合材料 研磨 摩擦学 粒子（生态学） 化学工程 工程类 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.108059
DOI
10.1016/j.mssp.2023.108059 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Tao Wang; Qiusheng Yan; Qiang Xiong; Junqiang Lin; Jiabin Lu; et al
出版日期：2023-12-30
求助人
迷失的悠悠 在 2024-12-16 20:30:33 发布自天津，悬赏 10 积分
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