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标题
Numerical and Experimental Research on the Laser-Water Jet Scribing of Silicon
激光水射流刻蚀硅的数值与实验研究
相关领域
机械加工 材料科学 沟槽（工程） 单晶硅 硅 机械工程 脆性 激光器 制作 半导体 光电子学 光学 复合材料 冶金 工程类 替代医学 医学 物理 病理
网址
https://www.mdpi.com/2076-3417/12/8/4057/pdf?version=1650265...
DOI
10.3390/app12084057 doi
其它 期刊：Applied Sciences
作者：Yuan Li; Ye Ding; Cheng Bai; Junjie Cao; Lijun Yang
出版日期：2022-04-17
求助人
srf0602. 在 2024-12-22 21:01:26 发布自天津，悬赏 10 积分
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