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标题
Preparation of High-Quality n-Type Poly-Si Films by the Solid Phase Crystallization (SPC) Method
固相结晶法制备高质量n型多晶硅薄膜
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网址
https://doi.org/10.1143/jjap.29.2327
DOI
10.1143/jjap.29.2327 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Takao Matsuyama; Kenichiro Wakisaka; M. Kameda; Makoto Tanaka; T. Matsuoka; et al
出版日期：1990-11-01
求助人
奋斗梦旋 在 2025-01-03 15:23:31 发布自中国，悬赏 10 积分
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