MEMS-based microheaters integrated gas sensors

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标题	MEMS-based microheaters integrated gas sensors 基于MEMS的微加热器集成气体传感器相关领域微型加热器材料科学微电子机械系统表面微加工电压功率消耗光电子学体微机械加工加热元件甲烷热的功率（物理）制作电气工程复合材料气象学替代医学量子力学生态学病理工程类物理生物医学
网址	https://doi.org/10.1080/10584587.2018.1514877
DOI	10.1080/10584587.2018.1514877 doi
其它	期刊：Integrated ferroelectrics 作者：Avneet Singh; Anjali Sharma; Nidhi Dhull; Anil Arora; Monika Tomar; et al 出版日期：2018-10-13
求助人	VXIAO 在 2025-01-02 22:30:27 发布自湖北，悬赏 30 积分
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